ООО Ухань Фэн Эр Шунь Оборудование для Термической Обработки
здание 5-3, Промышленный парк «Ляньдун U-Гу», Экономическая зона развития Янло, р-н Синьчжоу, г. Ухань, Китай
Полезные рабочие размеры камеры: Ø1500 мм × H1500 мм (диаметр × высота).
Рабочий температурный диапазон: 500–600 °C
Максимальная рабочая температура: 650 °C
1. Основные технические параметры рабочей камеры
◆ Полезные рабочие размеры камеры: Ø1500 мм × H1500 мм (диаметр × высота).
◆ Рабочий температурный диапазон: 500–600 °C
◆ Максимальная рабочая температура: 650 °C
◆ Предельный вакуум: ≤ 6,7 Па
◆ Время откачки от атмосферного давления до предельного вакуума: ≤ 30 минут
◆ Скорость натекания (давления): ≤ 7,8 Па/ч
◆ Максимальная масса загрузки: 3000 кг
2. Основные технические параметры импульсного ВЧ-источника питания для ионного азотирования
◆ Частота импульсов: 20 000 Гц
◆ Форма выходного импульсного напряжения: прямоугольная (меандр)
◆ Выходное импульсное напряжение: плавно регулируемое в диапазоне 0–800 В; промышленный трансформатор не используется.
◆ Коэффициент заполнения импульсов (скважность): плавно регулируемый в диапазоне 5–85%
◆ Максимальный средний выходной импульсный ток: 150 А
◆ Время гашения дуги: < 2 мкс (микросекунд)
◆ Точность контроля температуры: ±1 °C
◆ Точность контроля давления: ±1 Па
◆ Подача газа: NH₃: 0–5,0 л/мин
◆ Точность контроля расхода газа: ±0,5%
3. Основные технические параметры вспомогательного источника питания для нагрева
◆ Количество зон резистивного нагрева: 3
◆ Общая мощность резистивного нагрева: 60 кВт
◆ Мощность нагрева одной зоны: 20 кВт
◆ Напряжение нагрева одной зоны: постоянное, плавно регулируемое в диапазоне 0–150 В
◆ Ток нагрева одной зоны: постоянный, плавно регулируемый в диапазоне 0–133,3 А